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半導(dǎo)體光學(xué)產(chǎn)品

盲槽

技術(shù)規(guī)格
Venting Channels Product Size（盲槽產(chǎn)品尺寸） 參數(shù)詳情
venting channels width size（槽寬尺寸精度） ±5 μm
venting channels depth size（槽深尺寸精度） 150±30 μm （one example, @0.6mm T, 單面開槽)
Double face venting channels Position tolerance（雙面開槽對位精度） ±25μm
Position tolerance（位置度公差） ≤ 5 μm